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片狀氧化鋁粉1200#硅晶片拋光粉

日期：2025-12-20 16:35:49　人氣：點擊：


片狀氧化鋁拋光粉1000#光學(xué)特種玻璃研磨粉

 
       片狀氧化鋁粉1200#硅晶片拋光粉是為硅晶片、砷化鎵等半導(dǎo)體材料研發(fā)的α 相平板狀氧化鋁拋光粉，核心優(yōu)勢是低劃傷、高效率、高潔凈度，適配硅晶片研磨 / 粗拋到精拋的多工序，顯著提升良率與拋光一致性。



片狀氧化鋁粉1200#硅晶片拋光粉的特點：

 
  1. 海旭磨料生產(chǎn)的片狀氧化鋁對標(biāo)進(jìn)口產(chǎn)品，可以達(dá)到進(jìn)口片狀氧化鋁粉的研磨效果。
  2. 晶型平整無棱角，研磨時磨粒于工件之間產(chǎn)生平面滑動效果，不易產(chǎn)生劃痕。
  3. 硬度高，磨削力強。片狀氧化鋁具有類似于剛玉的α-Al2O3晶相，適用與大多數(shù)材料的研磨和拋光。
  4. 磁性物含量低，清潔度高，粒徑一致性高。
  5. 熔點高，機械強度高，磨削效率高。
  6. 顆粒大小可控，3-50微米均可獲得。
  7. 顆粒的平整性使片狀氧化鋁粉體易于分散，適合制成研磨劑或研磨液。
  8. 耐腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性強、抗氧化性能優(yōu)越，不會于研磨液中的液體介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。
  9. 比表面積大，表面活性和附著力由于電熔剛玉。
  10. 片狀氧化鋁易于分散，粉體不易團(tuán)聚在晶圓表面造成堆積，影響拋光平整度。
 

產(chǎn)品指標(biāo)：

化學(xué)成分Composition（%）
Item 保證值Standard Value 實測值Tested Value
Al2O3 ≥99.5% 99.60
Fe2O3 ≤0.04 0.032
SiO2 ≤0.03 0.02
Na2O ≤0.02 0.15
物理指標(biāo)Physical Index
Item 保證值Standard Value 實測值Tested Value
Specific Gravity(g/cm3) 3.96-3.98 3.98
Mohs hardness ≥9 9.0
 

生產(chǎn)規(guī)格(電阻法）：

型號 D3(um) D50（um） D94（um）
HXTA40 39-44.6 27.7-31.7 18-20
HXTA35 35.4-39.8 23.8-27.2 15-17
HXTA30 28.1-32.3 19.2-22.3 13.4-15.6
HXTA25 24.4-28.2 16.1-18.7 9.6-11.2
HXTA20 20.9-24.1 13.1-15.3 8.2-9.8
HXTA15 14.8-17.2 9.4-11 5.8-6.8
HXTA12 11.8-13.8 7.6-8.8 4.5-5.3
HXTA09 8.9-10.5 5.9-6.9 3.3-3.9
HXTA05 6.6-7.8 4.3-5.1 2.55-3.05
HXTA03 4.8-5.6 2.8-3.4 1.5-2.1
 


產(chǎn)品包裝：

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